檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "江志強".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="曾婷芝"
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本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…
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本研究利用半導體製程製備植入型微電極陣列探針,製程主要可分成三個階段,第一階段為微電極陣列金屬圖層之形成,利用微影製程技術及電子蒸鍍,將金屬鉑鍍在矽基材上。第二階段為微電極陣列探針表層的絕緣,此階段…
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本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針,製程的部分共分成為三個階段,第一階段為金屬圖案之定義,使金屬導線,封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣,對整片晶圓沉積介電層後,運…
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五十多年來,生物感測器的發展自 Leland C. Clark教授首先提出生物感測器的構想開始,如今生物感測器已被廣泛地應用於生醫診斷、環境監測、食安控制等領域。在大多數的例子裡,生物樣品中的待測分…